高い位置精度と高い描画品質さらには生産性を高次元にパッケージ化。 この一台でハイエンド向け露光に求められる全ての性能を一つに凝縮
解像性：L/S=10/10μm MinSROサイズ：φ30μm 描画位置精度：5μm(3σ)
